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有限會(huì)社NAS技研


有限會(huì)社NAS技研
不斷地用新的視野挑戰(zhàn)
我們?nèi)粘I钪惺褂玫闹悄苁謾C(jī)、電視、電子琴、汽車(chē)、電車(chē)等,為了移動(dòng)幾乎所有的電器和交通工具,使用了半導(dǎo)體設(shè)備。這個(gè)半導(dǎo)體器件的基板材料是“硅晶片”。晶片表面可能附著著微量的金屬污染物。如果使用附著污染的晶片制造半導(dǎo)體,會(huì)對(duì)性能和可靠性產(chǎn)生**影響。為了檢驗(yàn)這片晶片的質(zhì)量,我們需要回收和分析表面的污染。本公司自2002年成立以來(lái),為了對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不可缺少的晶片進(jìn)行質(zhì)量檢查,開(kāi)發(fā)、制造、銷(xiāo)售了回收附著在表面的微量污染物的裝置。
半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)眼花繚亂。我們將不斷以全新的視野進(jìn)行挑戰(zhàn),為客戶(hù)提供符合需求的產(chǎn)品和服務(wù)而邁進(jìn),今后也請(qǐng)多多支持和惠顧。

國(guó)內(nèi)の主要半導(dǎo)體メーカー、デバイス(半導(dǎo)體関連機(jī)器)メーカー、分析メーカー

FEATURES

當(dāng)社の製品の特徴

シリコンウェーハ業(yè)界における汚染回収技術(shù)の問(wèn)題とその解決方法という流れで、
當(dāng)社製品の特長(zhǎng)をご紹介いたします。 

従來(lái)の問(wèn)題

エッジ汚染回収技術(shù)

  • 基本は水平になっているウェーハを垂直に立てる。
  • 回転させながらエッジだけを液に侵漬するので、難しい。

特開(kāi)平11-204604

特開(kāi)平11-204604

C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.

C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.

問(wèn)題點(diǎn)

  • ウェーハを垂直回転させるための専用裝置が必要。
  • 液貯めの液量をある程度より少なくすることができない。

當(dāng)社にて、従來(lái)の回収裝置(水平回転型)に適用可能で、 かつ必要液量が少ない回収治具を開(kāi)発致しました。

當(dāng)社製品の特長(zhǎng)による解決方法

表面張力を利用したエッジ回収治具

  • 側(cè)面スリットからわずかにはみ出した液にエッジ部を接觸。
  • 表面張力により液が丸まるため、液は流れ出ることがありません。

表面張力を利用したエッジ回収治具

エッジ回収の実際

  • エッジ部だけを液に接觸させながらウェーハを回転。
  • 位置を調(diào)整することで表裏面に液が回り込まないように設(shè)定可能です。(特許取得)

エッジ回収の実際

エッジ回収の実際


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