W系列微型XRF 使用多毛細管光學器件將X射線束聚焦到7.5 μm FWHM,這是使用XRF技術(shù)進行涂層厚度分析的世界*小的光束尺寸。 這使其非常適合測量樣品,例如BGA和較小的焊料凸點。 使用140倍放大倍率相機來測量該比例的特征; 它配有輔助的低倍率輔助相機,用于實時查看樣本和鳥瞰宏觀圖像。 Bowman的雙攝像頭系統(tǒng)使操作員可以看到整個零件,單擊圖像以使用高磁攝像頭進行縮放,然后**定位要編程和測量的功能。
每個軸**到小于+/-1μm的可編程XY平臺用于選擇和測量多個點; Bowman模式識別軟件和自動對焦功能也可以自動執(zhí)行此操作。 系統(tǒng)的3D映射功能可用于查看諸如硅晶片的部件上的涂層的形貌。
W系列儀器的標準配置包括7.5μm鉬靶光學結(jié)構(gòu)(可選鉻和鎢)和高分辨率、大窗口硅漂移探測器,該探測器每秒可處理超過2百萬次計數(shù)。
W 系列微型 XRF 是 Bowman XRF 儀器套件中的第 7 個型號。 與產(chǎn)品組合中的其他產(chǎn)品一樣,它同時測量多達 5 個涂層并運行先進的 Archer 軟件以根據(jù)檢測到的光子量化涂層厚度。 Archer 軟件將直觀的視覺控制與省時的快捷方式、廣泛的搜索功能和“一鍵式”報告相結(jié)合。 該軟件還簡化了用戶創(chuàng)建新應用程序的過程。
X射線管: |
50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選:Cr或W |
探測器: | 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器 |
輸出焦深: | 固定為0.08英寸(2.03毫米) |
工作環(huán)境: | 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝 |
重量: | 190kg(420lbs) |
可編程XYZ平臺: |
XYZ行程:300毫米(11.8英寸)x 400毫米(15.7英寸)x 100毫米(3.9英寸) XY桌面:305mm(12“)x 406mm(16”) X軸準確度:2.5um(100u“); X軸**度:1um(40u“) Y軸準確度:3um(120u“); Y軸**度:1um(40u“) Z軸準確度:1.25um(50u“); Z軸**度:1um(40u“) |
元素測量范圍: | 13號鋁元素到92號鈾元素 |
分析能力: |
5層(4層+基材)每層分析10種元素, 成分分析*多可同時分析25種元素 |
濾波器: | 4位置一次濾波器 |
數(shù)字脈沖處理: | 4096 多通道數(shù)字處理器,自動死時間和逃逸峰校正 |
處理器: |
英特爾,酷睿i5 3470處理器(3.2GHz),8GB DDR3內(nèi)存, 微軟 Windows 10專業(yè)版,64位 |
相機: | 1/4''(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
視頻放大倍率: | 140X 微型、7X 數(shù)字變焦、9X 微距和表格視圖 |
電源: | 150W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz |
尺寸(高 x 寬 x 深): |
樣品倉尺寸:100mm(4“)x 914mm(36”)x 735mm(29“) 外形尺寸:787mm(31“)x 940mm(37”)x 990mm(39“) |
其他新特征: |
Z軸防撞陣列 自動聚焦和自動鐳射 模式識別 先進的自定義數(shù)據(jù)調(diào)用 |
X射線管 | G系列 | B系列 | P系列 | L系列 | K系列 | O系列 | M系列 | W系列 | 一系列的 |
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陽極靶材 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 |
X射線照射方式 | 由下往上 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 |
探測器 | |||||||||
SDD硅漂移探測器 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
大窗口硅漂移探測器 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 |
光斑尺寸 | |||||||||
單個準直器 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 |
多個準直器 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
毛細管光學結(jié)構(gòu) | 無 | 無 | 無 | 可選 | 即將推出! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
焦距 | |||||||||
聚焦激光/自動聚焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
單個固定焦距 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
可變焦距 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
視頻放大倍率 | |||||||||
30X 微型 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
55X 微型 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
140X 微型 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
7倍數(shù)碼變焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
9X 微距 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
表格檢視 | 無 | 無 | 無 | 可選 | 可選 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
平臺&外形尺寸 | |||||||||
Z軸控制方式 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 可編程 | 可編程 |
Z軸行程 | 1" | 5.2" | 5.2" | 10" | 9" | 5.2" | 5.2" | 3.9" | 3.9" |
基值 | 無 | 固定 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 |
標準XY行程 | 無 | 無 | 5 × 6" | 10 × 10" | 12 × 12" | 5 × 6" | 6.5 × 6.5" | 12 × 16" | 23 × 23" |
可選XY行程 | 1.5 × 1.5" | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 無 |
可選的Max XY Travel | 無 | 無 | 16 × 16" | 無 | 無 | 16 × 16" | 16 × 16" | 無 | 無 |
平臺精度 | 無 | 無 | 0.0004" | 0.0004" | 0.0002" | 0.0004" | 0.0001" | 40u” | 40u” |
樣品倉尺寸(高*寬*深) | 4x13x12“ | 5.5x12x13“ | 5.5x12x13“ | 11x22x24“ | 24x24x9“ | 5.5x12x13“ | 5.4x12x13“ | 4x29x36“ | 4x55x58“ |
總重量 | |||||||||
25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |