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日本KOSAKA小坂半導(dǎo)體設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):成都半導(dǎo)體行業(yè)圓度和圓柱形測量儀器EC3600A/EC3600B/EC3600C
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計(jì),粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺(tái)階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


這是一款工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)圓度圓柱形測量機(jī),可以處理大型和重型物體。 它特別適用于大型曲軸測量。


  • EC3600A???用于大直徑長物體
  • EC3600B:大口徑通用型
  • EC3600C???用于大直徑平面
  • EC3600B
機(jī)制和方法 多孔靜壓空氣軸承,工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)精度 (0.06+0.0006H)μm
H:距工作臺(tái)表面的高度 (mm)
*大測量直徑 內(nèi)外徑 φ450mm
有效載荷 150 公斤
垂直移動(dòng)量 600 毫米


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